可根据实际需要选择通道数及通道参数,通道可随意组合,具备较好的EMC特性及较低的纹波,并通过了EMC/IVD/F47等相关认证,可广泛应用于刻蚀机、PVD、CVD等半导体工艺装备中
可根据实际需要选择通道数及通道参数,通道可随意组合,具备较好的EMC特性及较低的纹波,并通过了EMC/IVD/F47等相关认证,可广泛应用于刻蚀机、PVD、CVD等半导体工艺装备中
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