1U高半机架,功率可达2000W,电压最高可达1000V,可插拔式通讯接口,内置函数发生器及标准法规曲线,广泛用于源磁场电源、预过滤器电源、弧压电源、灯丝电源、偏置电源等半导体工艺装备中。
1U高半机架,功率可达2000W,电压最高可达1000V,可插拔式通讯接口,内置函数发生器及标准法规曲线,广泛用于源磁场电源、预过滤器电源、弧压电源、灯丝电源、偏置电源等半导体工艺装备中。
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