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硅烷-气体供应

产品类别：半导体
产品属性：普通产品（非首发非新品）
应用领域：工业电子/工控、通信系统

硅烷在半导体制程中具有广泛的应用。 它可以用于单晶硅的制备、表面修饰、氧化硅和氮化硅薄膜的制备，以及腐蚀抑制剂和光刻胶的辅助材料等。 硅烷作为一种重要的半导体制程材料，为半导体工业的发展做出了重要贡献。

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